Domaines d'excellence
Dépôts et caractérisations de couches minces
|
|
VOS BESOINS
|
D'AUTRES COMPÉTENCES PROCHES
|
- Réaliser des dispositifs sous forme de couches minces
- Déposer à l'aide de techniques différentes ou plusieurs couches minces PVD ou ALD tout en restant sous ultra-vide mais aussi caractériser vos couches minces (STM, AFM, XPS, Auger)
- Un parc de machine est à votre disposition mais vous pouvez venir connecter votre enceinte de dépôt dans la partie TTO du tube, vous donnant ainsi l'accés à ses outils de caractérisation.
|
|
NOS SOLUTIONS
|
NOS RÉFÉRENCES
|
Tous en restant dans le domaine de l'ultra-vide vous avez accès à :
-
8 systèmes d'élaboration de couches minces spécialisés par type de matériau : MBE, Evaporateurs thermiques, CVD, Pulvérisation cathodique, Ablation laser
-
8 systèmes d'analyse et de caractérisation : Surface (RHEED, STM, AFM), Chimique (Spectroscopie Auger, XPS, UPS), Propriétés (Effet Kerr, Ellipsométrie)
-
2 systèmes de fonctionnalisation : Gravure ionique, Recuit sous champs
|
|
MOTS CLÉS
|
CONTACTS
|
Daum, PVD, ALD, PLD, évaporation, ultravide, MEB, couches minces, XPS, AFM, STM
|
Contact de l’équipe
Contact TTO service dédié à la relation entreprises
- Cette adresse e-mail est protégée contre les robots spammeurs. Vous devez activer le JavaScript pour la visualiser.
- +33 3 72 74 26 04
|