DEPOTS ET CARACTERISATIONS DE COUCHES MINCES (TUBE)

 Domaines d'excellence

Dépôts et caractérisations de couches minces

VOS BESOINS

D'AUTRES COMPÉTENCES PROCHES

• Réaliser des dispositifs sous forme de couches minces
• Déposer à l'aide de techniques différentes ou plusieurs couches minces PVD ou ALD tout en restant sous ultra-vide mais aussi caractériser vos couches minces (STM, AFM, XPS, Auger)
• Un parc de machine est à votre disposition mais vous pouvez venir connecter votre enceinte de dépôt dans la partie TTO du tube, vous donnant ainsi l'accés à ses outils de caractérisation.
  

• Etude de couches minces semi-conductrice ou diélectrique
• Procédés de micro et nanofabrication
• Sonder, contrôler et fonctionnaliser le magnétisme de la matière
• Régulation thermique et optiques de couches minces (thermochromie)
• Microscopie électronique
• Diffraction des rayons X
• Epitaxie
• Monocouche

NOS SOLUTIONS

NOS RÉFÉRENCES

Tous en restant dans le domaine de l'ultra-vide vous avez accès à :

• 8 systèmes d'élaboration de couches minces spécialisés par type de matériau : MBE, Evaporateurs thermiques, CVD, Pulvérisation cathodique, Ablation laser

• 8 systèmes d'analyse et de caractérisation : Surface (RHEED, STM, AFM), Chimique (Spectroscopie Auger, XPS, UPS), Propriétés (Effet Kerr, Ellipsométrie)

• 2 systèmes de fonctionnalisation : Gravure ionique, Recuit sous champs

MOTS CLÉS

CONTACTS

Daum, PVD, ALD, PLD, évaporation, ultravide, MEB, couches minces, XPS, AFM, STM

Contact de l’équipe

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• +33 3 72 74 25 68
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