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DEPOTS ET CARACTERISATIONS DE COUCHES MINCES (TUBE)

 

 Domaines d'excellence

Dépôts et caractérisations de couches minces

 

VOS BESOINS

D'AUTRES COMPÉTENCES PROCHES

  • Réaliser des dispositifs sous forme de couches minces
  • Déposer à l'aide de techniques différentes ou plusieurs couches minces PVD ou ALD tout en restant sous ultra-vide mais aussi caractériser vos couches minces (STM, AFM, XPS, Auger)
  • Un parc de machine est à votre disposition mais vous pouvez venir connecter votre enceinte de dépôt dans la partie TTO du tube, vous donnant ainsi l'accés à ses outils de caractérisation.

NOS SOLUTIONS

NOS RÉFÉRENCES

Tous en restant dans le domaine de l'ultra-vide vous avez accès à :

  • 8 systèmes d'élaboration de couches minces spécialisés par type de matériau : MBE, Evaporateurs thermiques, CVD, Pulvérisation cathodique, Ablation laser

  • 8 systèmes d'analyse et de caractérisation : Surface (RHEED, STM, AFM), Chimique (Spectroscopie Auger, XPS, UPS), Propriétés (Effet Kerr, Ellipsométrie)

  • 2 systèmes de fonctionnalisation : Gravure ionique, Recuit sous champs

 

  

MOTS CLÉS

CONTACTS

Daum, PVD, ALD, PLD, évaporation, ultravide, MEB, couches minces, XPS, AFM, STM

 

 

 

 

Contact de l’équipe

  Contact TTO service dédié à la relation entreprises

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  • +33 3 72 74 26 04

 

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